BOMBA DE VACÍO TURBOMOLECULAR NAVIGATOR AGILENT VARIAN TV-301

BOMBA DE VACÍO TURBOMOLECULAR NAVIGATOR AGILENT VARIAN TV-301 se utilizan ampliamente en física de altas energías, tecnología de fusión, investigación general de UHV, fuentes de luz de sincrotrón, anillos de aceleradores de partículas y reactores de fusión, y son necesarios en aplicaciones de alto y ultra-alto vacío extremadamente limpias, fiables y rentables.

AGILENT VARIAN TV-301 NAVEGADOR Características y Beneficios

Amplio rango de velocidad de bombeo: 70 a 6000 l/s

Varian ofrece una gama completa de bombas turbomoleculares, para cubrir todas las aplicaciones y segmentos de mercado posibles.

Alta Velocidad, Alta Compresión

Maximizar el rendimiento al mínimo costo y tamaño: esta es nuestra misión de diseño. Nuestro uso de la tecnología garantiza el máximo rendimiento sin comprometer el tamaño, el costo o la confiabilidad de la bomba. Utilizamos nuestras tecnologías para satisfacer la corriente principal de las aplicaciones de nuestros clientes, brindándoles soluciones de bombeo confiables y de alto rendimiento a un costo competitivo.

MacroTorr de última generación^® Tecnología

La tecnología de etapa de bombeo más eficaz disponible en la actualidad. Gracias a esta potente innovación de Varian usted puede:
– maximizar el caudal de la bomba
Extender la tolerancia de la línea de avance hasta 18 mbar.
– aumentar la relación de compresión en décadas, sobre todo para gases ligeros sin comprometer el tamaño o el peso de la bomba. De hecho, la MacroTorr^® las etapas establecidas en el navegador V301 están alojadas en un espacio de una pulgada.

Diseñado para Operación con Carga de Gas Muy Alta

Varian siempre se ha centrado en aplicaciones de alto rendimiento. Gracias a herramientas de modelado numérico de última generación, las etapas de bombeo están diseñadas para minimizar el consumo de energía.

Se presta especial atención al diseño térmico de las aletas de refrigeración y a la distribución de la temperatura interna, para garantizar un funcionamiento eficiente.

Rotor monolítico

Nuestras herramientas de corte patentadas y el proceso de electroerosión (EDM), combinados con una sofisticada operación de fabricación CAD/CAM, permiten a Varian producir rotores de bomba de una sola pieza de aleación de aluminio de alta tecnología. Este importante logro tecnológico mejora la vida útil de la bomba por diferentes razones:
– se minimiza el peso del rotor, permitiendo la instalación de la bomba en cualquier posición sin comprometer el rendimiento de la misma
– cuanto más ligera sea la estructura de la bomba, menores serán las tensiones sobre el material y sobre los propios cojinetes, lo que se traducirá en una mayor vida útil de la bomba.

Rodamientos de bolas cerámicos de alta fiabilidad y sin mantenimiento

Sin aceite, sin recargas, sin contaminación. Esta es nuestra filosofía de diseño. Todas nuestras bombas están diseñadas en torno a la tecnología de rodamientos de bolas cerámicas.

La cerámica es más ligera, dura, suave y térmicamente más estable que cualquier acero. Por lo tanto, un rodamiento de bolas de cerámica puede funcionar más rápido, a temperaturas más altas y de forma más silenciosa que cualquier rodamiento de bolas de acero. La lubricación de los rodamientos es fundamental. Tras años de investigación, Varian ha desarrollado su tecnología propietaria de Lubricación Seca para garantizar una excelente vida útil de la bomba en cualquier posición y en cualquier condición de trabajo de carga de gas. Gracias a los rodamientos de cerámica y a la tecnología de Lubricación Seca, puede contar con un MTBF (Tiempo Medio Entre Fallos) máximo de nuestros productos de más de 120.000 horas. Gracias a Varian, el rendimiento nunca ha sido tan fiable.

Controlador “Plug & Pump” Listo para Usar T-plus SW

Operar y controlar una bomba turbomolecular nunca ha sido tan simple. Gracias a nuestro software T-plus puede conectar su computadora portátil directamente a la unidad de control de la bomba y comenzar a usarla. Puede arrancar o detener la bomba, así como verificar su temperatura y las condiciones de carga de gas. También puede monitorear los parámetros de la bomba a lo largo del tiempo, así como realizar diagnósticos sencillos directamente en el sistema de vacío con un clic del ratón en Windows^™ entorno. Desde botones hasta gráficos y diálogos, todo es simple en nuestro software T-plus.

Muy Alta Tolerancia a la Línea de Aspiración

Trabajar con una presión de línea de vacío de hasta 18 mbar ofrece una ventaja sustancial: el tamaño de la bomba primaria se puede reducir significativamente, de modo que incluso una bomba de respaldo tan pequeña como la de 5 m³/hr SH-100 (seco) o DS 102 se pueden utilizar para operar nuestro V 301 Navigator en todos sus perfiles de bombeo. Gracias a una de las características del MacroTorr^® tecnología ahora puedes reducir el costo de tu sistema de vacío y obtener un mejor rendimiento al mismo tiempo.

Las bombas turbomecánicas Varian cuentan con controladores de rack estándar, controladores integrados Navigator o electrónica integrada

Aplicaciones típicas de la bomba Turbo-V

Semiconductores

La bomba turbo es el elemento crítico en la creación de un entorno apropiado en el mundo de la fabricación de semiconductores. De hecho, a medida que las geometrías de los chips semiconductores continúan reduciéndose, la dependencia de la tecnología de bombas turbo es la más alta en la historia de la fabricación de semiconductores. Las bombas turbo de Varian brindan ventajas únicas y críticas en la creación de vacío para la fabricación de dispositivos semiconductores. La rica historia de innovaciones de Varian incluye el uso pionero de rodamientos cerámicos térmicamente estables en lugar de rodamientos de acero inoxidable, y el desarrollo de MacroTorr^® turbos de etapa, entre otros.

El uso de la tecnología de rodamientos cerámicos permite a Varian operar sus turbobombas a una de las velocidades de rotación más altas de la industria, proporcionando una alta velocidad de bombeo para gases ligeros como el helio y el hidrógeno, que se liberan con frecuencia en la producción de semiconductores. Dado que la velocidad de bombeo está directamente relacionada con la velocidad de rotación, nuestras turbobombas ofrecen una velocidad de bombeo mejorada en un paquete más compacto.

Otra innovación crítica de Varian en el mundo de las turbobombas ha sido la introducción del rotor monolítico en conjunto con MacroTorr.^® turbos. Estas dos adiciones brindan a la bomba turbo la capacidad de satisfacer aplicaciones exigentes de ciclos rápidos, como cierres de vacío, en las que el ciclo de carga de gas elevado y las presiones de línea de succión tolerables elevadas son fundamentales para el éxito del proceso. Las capacidades de las bombas turbo de Varian son únicas y las más avanzadas de la industria, lo que permite al usuario compartir una única bomba de vacío en varias bombas turbo, reduciendo así los costos y mejorando la fiabilidad de la herramienta al disminuir el número de sistemas dinámicos dentro de la herramienta de proceso.

Física de Altas Energías y Laboratorios de Investigación

Las bombas turbomoleculares son ampliamente utilizadas en la Física de Altas Energías, la Tecnología de Fusión e investigación general de UHV. Las fuentes de luz de sincrotrón, los anillos de aceleradores de partículas, la investigación de laboratorio de UHV y los reactores de fusión necesitan HV y UHV extremadamente limpios, confiables y rentables.

Se requieren específicamente bombas que no requieran mantenimiento, ya que la mayoría de las bombas no son de fácil acceso.

Las bombas Varian Turbo-V están diseñadas para ofrecer una fiabilidad, un rendimiento y una limpieza inigualables en estas aplicaciones. Las bombas con rodamientos cerámicos, gracias a su reducida fricción de rodadura, baja tensión y alta estabilidad térmica en comparación con los rodamientos convencionales, ofrecen una mayor vida útil. El lubricante sólido de ultra baja presión de vapor elimina la necesidad de mantenimiento y garantiza un funcionamiento limpio en cualquier condición.

Además, a diferencia de la mayoría de las otras bombas, todas las bombas Varian Turbo-V tienen tanto el rodamiento superior como el inferior en el lado del vacío grosero y no expuestos a UHV, lo que reduce aún más la posibilidad de contaminación, incluso en caso de uso indebido.

La MacroTorr patentada^® las etapas brindan la mayor velocidad y relación de compresión en el menor espacio físico; además, todas las bombas Turbo-V se pueden montar en cualquier orientación, desde vertical hasta horizontal o invertida, lo que facilita el diseño del sistema en los requisitos de espacio más estrictos. MacroTorr^® Las turbobombas pueden operar a presiones más altas de línea trasera, permitiendo el uso de bombas de vacío de membrana, proporcionando así un paquete de bombeo completamente limpio, libre de aceite, compacto y rentable.

Siempre que se necesite bombear una gran cantidad de gas y se requiera un mayor rendimiento, la combinación de bombas Turbo-V y TriScroll^® Las bombas secas son la solución de vanguardia. Todas las bombas Turbo-V Navigator tienen la opción de un controlador integrado, que permite una operación sencilla de enchufar y usar, o un controlador montado en rack para aplicaciones donde la electrónica debe colocarse de forma remota (es decir, entornos radiactivos).

Instrumentación Analítica

Microscopía Electrónica (SEM, TEM), Sistemas de Haz Iónico Enfocado (FIB) y Análisis de Superficie

Los sistemas modernos de haz enfocado, como los SEM, TEM y FIB, utilizan columnas que proyectan electrones o iones sobre muestras microscópicas para un análisis detallado. Los usuarios finales analizan todo tipo de sustancias, desde compuestos orgánicos hasta obleas semiconductoras. En la industria de semiconductores, en particular, se requiere mayor sensibilidad para una mejor resolución de la muestra. Otro requisito clave es un alto rendimiento de muestra para reducir el costo de propiedad de estos instrumentos.

Con base en estos requisitos, la demanda de bombas de vacío de alto rendimiento es mayor que nunca. Varian ofrece una gama completa de bombas de vacío alto y ultra alto, diseñadas especialmente para los exigentes requisitos de los SEM, TEM y sistemas de análisis de superficies (Varian tiene una gama completa de bombas de iones, que son productos clave para esta aplicación; véase la sección de bombas de iones).

Las bombas turbomoleculares también son un componente clave en los sistemas modernos de haz enfocado porque ofrecen una evacuación de aire rápida y sin aceite de cámaras de muestras grandes (la operación sin aceite es un requisito clave de muchas aplicaciones de análisis modernas, como la fabricación de semiconductores). Dentro de la gama completa de bombas turbo de Varian, el diseñador de sistemas de haz enfocado puede elegir un tamaño de bomba que ofrezca el mejor tiempo de evacuación de la cámara con el mejor costo de propiedad y un tamaño compacto para su uso en situaciones de espacio limitado. Varian tiene una línea completa de bombas turbo personalizadas y de baja vibración para las aplicaciones de microscopía más sensibles. Finalmente, Varian tiene una gama completa de controladores de bomba integrados que ofrecen la máxima flexibilidad de control con una generación de ruido electromagnético casi nula.

Varian ofrece una gama completa de turbobombas SEM diseñadas específicamente para aplicaciones con velocidades de 300 l/s, 550 l/s, 700 l/s y 1000 l/s.

Todos los diseños de bombas turbo de SEM de Varian se pueden verificar en el laboratorio de aplicaciones de Varian. Finalmente, cada bomba turbo de SEM se prueba en producción antes de ser enviada al cliente.

Aplicaciones típicas de la bomba Turbo-V

Espectrometría de masas

La espectrometría de masas se ha convertido en una herramienta analítica importante en muchas industrias, incluidas las farmacéuticas. Gracias a los avances en electrónica, los diseñadores de instrumentos pueden implementar una potencia analítica de alto rendimiento y rentable en un sistema fácil de usar y rentable. Estos desarrollos requieren sistemas de vacío avanzados que se caracterizan por diseños de múltiples cámaras y alto rendimiento en instrumentos de alta calidad. Estos requisitos, a su vez, exigen bombas de vacío rentables y de alto rendimiento. Varian ofrece una línea completa de bombas y controladores que cumplen con los requisitos de vacío más exigentes y están optimizados para los requisitos específicos de los sistemas modernos de espectrometría de masas. Varian puede personalizar aún más sus bombas proporcionando sistemas de bombeo multientrada que son compactos y fiables. A continuación, se enumeran algunos ejemplos de aplicaciones comunes para la espectrometría de masas:

• GC-MS

Los cromatógrafos de gases acoplados a espectrómetros de masas suelen utilizar una cámara de vacío en entornos de carga de gas relativamente baja y una interfaz de vacío intermedia para analizar muestras inorgánicas.

El Varian Turbo-V 70 con controlador de placa de circuito impreso (PCB) es una solución muy rentable para esta técnica analítica común. El V 301 Navigator ofrece una solución compacta y rentable para diseños de instrumentos más grandes.

• CL-EM

Los espectrómetros de masas con cromatografía líquida suelen incluir sistemas de vacío de múltiples cámaras y alto rendimiento. Las bombas Turbo-V301 y V 551 de Varian están diseñadas para un funcionamiento de alto rendimiento con refrigeración por aire, un beneficio importante para mantener un sistema compacto. Las bombas V 301 y V 551 también están disponibles en varias versiones de flujo dividido para aumentar su utilidad y rendimiento en esta aplicación. El sistema de control integrado Navigator proporciona un alto nivel de función de control en un paquete pequeño.

ICP-MS

Los sistemas de plasma acoplado inductivamente-MS tienen una amplia gama de requisitos de vacío. Muchos sistemas pueden usar gases portadores pesados como el argón, mientras que los diseños de celda de colisión usan helio. El Turbo-V 301 Navigator tiene un motor de alta eficiencia y MacroTorr^® Etapas de arrastre para reducir la producción de calor bajo carga de gas. Estas características permiten al V 301 bombear altos niveles de argón. El controlador Navigator proporciona una función de controlador alta en un paquete compacto.

• TIEMPO DE VUELO

Los sistemas de tiempo de vuelo se están convirtiendo en herramientas analíticas muy importantes en el descubrimiento de fármacos y la proteómica. Los requisitos de vacío varían, aunque el tamaño reducido es a menudo una consideración importante. La bomba y el paquete de control Turbo V 301 Navigator brindan al diseñador de TOF un alto grado de flexibilidad en cuanto a alto rendimiento, disipación eficiente del calor y tamaño compacto.

Procesos Industriales

Las bombas Turbo-V están diseñadas para satisfacer las necesidades más exigentes del mercado industrial. Ofrecen una fiabilidad, un rendimiento y una limpieza inigualables. Diseñadas para soportar el uso industrial intensivo, las bombas Turbo-V manejan cargas de gas elevadas y se recuperan rápidamente de entradas accidentales de aire. Con una gama completa de bombas turbo de 70 a 6.000 l/s, incluidas las bombas Navigator con controladores integrados, Varian tiene la solución adecuada para sus necesidades.

Deposición de Película Delgada:

• Equipos de recubrimiento de vidrio (vidrio arquitectónico, vidrio automotriz, sustratos de panel plano)
• Producción de células solares de película delgada (fotovoltaicas)
• Medios de datos ópticos (discos compactos, discos versátiles digitales, discos magneto-ópticos)
• Soportes de almacenamiento magnético (discos duros, cabezales de lectura)
• Tratamientos superficiales (funcionales, decorativos)
• Recubrimiento óptico (oftálmico, optoelectrónica de precisión)
• Recubrimiento en rollo/web en películas o láminas

Procesamiento de Dispositivo:

• Fabricación de tubos de imagen para TV y monitores
• Evacuación de luminarias (alumbrado de autopistas, proyectores)
• Tubos de rayos X y dispositivos electrónicos
• Tubos aceleradores médicos
• Láseres

Procesos Industriales Generales:

• Hornos de vacío / metalurgia
• Otros

Equipo de deposición de películas delgadas industrial

Nuestra experiencia tanto con fabricantes de equipos originales (OEM) como con usuarios finales en el campo de equipos de vacío industrial nos convierte en el socio adecuado para su Solución Integral de Vacío. En sistemas por lotes de cámara única, sistemas de cámaras múltiples, con esclusas de carga o sistemas continuos en línea grandes, Varian Vacuum Technologies tiene la bomba turbo adecuada para sus requisitos de proceso.

El Sistema Turbo-V 2K-G:

• La primera solución de bombeo específica para aplicaciones diseñada para equipos de deposición de película delgada
• La unidad de mayor rendimiento y más compacta disponible
• El primer enfoque totalmente integrado para la máxima productividad y tiempo de actividad del sistema.

Más información:

	Agilent Varian Turbo-V 301 Controladores de Bomba Turbo.pdf (1.85 MB)
	Controladores de Bomba Turbo Agilent Varian Turbo-V 301-AG.pdf (5,80 MB)